《面向混合键合的表面波激发等离子体下游区域等离子体活化》

  森川泰弘 博士

  日本爱发科株式会社 技术经理

演讲摘要：

待定

演讲简介：

森川泰弘于 1997 年入职爱发科（ULVAC）。同年，他取得东洋大学电气工程硕士学位；2003 年获东京大学材料工程博士学位。现任爱发科日本静冈先进技术研究所经理。其主要研究方向为半导体芯片先进封装所用等离子体工艺与设备开发。他是日本应用物理学会（JSAP）、日本电子封装学会（JIEP）会员，同时担任国际干法工艺研讨会（DPS）程序委员会委员、2026 国际电子封装大会（ICEP2026）技术程序委员会大会主席。