合肥真萍电子科技有限公司，是安徽旭腾微电子设备有限公司全资子公司，总部位于合肥经开区天都路4345号真萍科技=业园，是一家专注于热(+30-1600'C)、真空(1-1*10-6torr)、高压(10MPa)等设备的半导体装备行业企业技术团队主要由一批多年从事热工、流体、结构、半导体等行业的业工程技术人员为核心组成，现有研发人员40余人，均为本科及以上学。目前已取得多项国家专利，其中包括发明型和软件;通过SO9001质量体系认证和以及SEMIS2认证。目前，自有厂房面积约32000平米，洁净车间约2000平米，是具有设计、制造、销售及售后服务能的综合性企业。2022年，合肥国有资本方“创新投”及“海恒资本”战略投资真萍科技母公司安徽旭腾微电子设备有限公司，融资融智，加速推进公司产品支术研发进程，助力完善半导体装备产业链拼图，初创期设备从以单机、自动化程度不高的加热/真空高洁净度的半导本设备为基础，不断向高集成自动化、满足复杂制成工艺的立式炉、真空旱接炉发展，现已成为多家国家级研究中心及集成电路生产首选专业设备供应商。

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