华屹超精密科技有限公司，是华汉伟业全资子公司，主要深耕板级玻璃通孔（TGV）检测与晶圆宏观检两大核心赛道，依托华汉伟业自主研发的智能视觉平台，融合光学检测（AOI）、三维计量（3D）、X射线无损检测（X-ray） 等多模态技术，推出量产级TGV全流程AOI 检测方案。产品覆盖TGV工艺全链条——从来料检测、激光诱导、湿法刻蚀、PVD、电镀填孔、研磨抛光、RDL重布线——实现制程工艺的检测闭环与数据互通。针对晶圆宏观检测，华屹提供2D+3D+IR多模态融合检测平台，实现表面缺陷、三维形貌、内部隐裂的全维度质量监控。

华汉伟业成立于2015年，国家重点专精特新“小巨人”和制造业单项冠军企业，公司有700余人，在深圳、苏州两地进行研发，目前核心专利有60+项，软件著作权100+项，并多次承担省市级重点科研项目。