《采用可编程晶圆形变控制实现低形变晶圆键合，面向高端半导体制造》
龚 里 博士
德国苏斯微技术（上海）有限公司 总经理
演讲摘要：
演讲人简介：
龚博士曾于德国埃尔朗根 - 纽伦堡大学攻读材料科学专业。1987 年，他加入埃尔朗根弗劳恩霍夫集成电路研究所，主要研究方向为半导体工艺技术与精密检测技术。累计在各类期刊及国际学术会议发表 20 余篇学术论文，并于 1993 年取得埃尔朗根 - 纽伦堡大学博士学位。
多年从事教学与科研工作后，他于 1994 年加入苏斯微技术。自 2001 年起担任德国苏斯微技术（上海）有限公司总经理。龚博士在半导体工艺与设备领域拥有深厚行业经验。