《磁中性环路放电等离子体在共封装光学器件低热膨胀系数玻璃基板深蚀刻中的作用》

 森川 泰宏 博士

 日本爱发科株式会社 经理

演讲人简介：

森川于1997年加入 ULVAC。他于1997年从东洋大学获得电气工程硕士学位。2003 年，他从东京大学获得材料工程博士学位。目前，他担任日本静冈市 ULVAC 先进技术研究所的所长。他的主要研究方向是等离子体技术及设备在半导体芯片先进封装领域的开发。他是日本应用物理学会（JSAP）和日本电子封装学会（JIEP）的成员。  此外，他还担任国际干法工艺研讨会（DPS）的程序委员会成员，以及2026年国际电子封装会议（ICEP2026）技术程序委员会的主席。