《先进封装:从MEMS到Nanofabrication》

     刘泽文 教授

     清华大学 集成电路学院

演讲摘要：

本报告分会三个部分，首先介绍先进封装在射频开关中的应用，给出了一种一体化射频开关封装实例，然后介绍了氮化镓传感器的最新研究进展及其未来的对MEMS-chiplet的封装的要求，最后介绍了一种硅基固态纳米孔的制造方法及其在DNA分子检测及嗅觉传感器中的潜在应用。 

演讲人简介：

刘泽文本科毕业于中国科学技术大学，法国巴黎萨克雷大学（原巴黎第十一大学）理学博士，清华大学博士后。1997年入职清华大学微电子学研究所（现集成电路学院前身）。历任清华大学微电子所微纳器件与系统研究室副主任，微电子学研究所副所长等职。他参加或者主持过多项国家和地方政府研究项目包括973项目、重点研发项目、自然科学基金项目。在Nano Letter、APL、EDL、Nanotechnology等国内外各类学术期刊和会议上发表学术论文共200多篇，拥有发明专利100多项。主持翻译学术专著一本《Microsystem Design》，在英文学术专著上撰写多篇章节。他多次受邀请担任国家自然科学基金, 国家重大专项和国家科学技术奖励办评审专家以及项目咨询专家。作为骨干参加人获得中科院科技进步特等奖一项，两次获得ECS国际会议优秀论文奖，一次中国电子学会优秀论文奖。获得过清华大学优秀教师、清华大学优秀博士生导师，苏州姑苏领军人才等称号。是多个国际期刊JMEMS、EDL、Nanotechnology的审稿人。他目前的主要研究方向是集成电路工艺、微纳制造及MEMS智能传感器系统。主要具体研究领域包括：光刻技术、射频MEMS器件、纳米孔制作及其在微流体及生物测量中的应用、宽禁带半导体智能传感器及人工智能在传感器工程中的应用。